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集多功能于一體的原子力顯微鏡

Park XE15原子力顯微鏡具有眾多的獨特功能，是處理多種樣品的共享實驗室、進行多變量實驗的研究院以及晶片故障分析工程師的理想選擇。同時，合理的價格和穩健的功能使之成為業內認可的大型樣品原子力顯微鏡之一。

MultiSample?（多重采樣?）掃描器帶來便捷樣品測量

Park XE15能夠一次性掃描和測量多個樣品，讓您的效率提高。您只需要將樣品放入工作臺，再啟動掃描程序便可。該功能也可以讓您在相同的環境條件下掃描樣品，從而提高數據的**性和穩定性。

可掃描大件樣品

與大多數的原子力顯微鏡不同，Park XE15可掃描尺寸為200 mm x 200 mm的樣品。這樣既滿足了研究員對掃描大樣品的需求，也讓故障分析工程師能夠掃描硅片。

功能齊全，可滿足各種需求

Park XE15配有絕大多數的掃描模式，可掃描各種尺寸的樣品。得益于此，Park XE15是共用實驗室的*佳配置，能夠滿足每個人的需求。

MultiSample?（多重采樣?）掃描器帶來便捷樣品測量 

Park XE15 MultiSample?掃描系統 

· 全機動XY軸樣品臺，行程范圍達150 mm x 150 mm

借助電動樣品臺，MultiSample?掃描模式能夠允許用戶自行編程，借助自動化步進掃描，實現多區域成像。

6.重復掃描

XE scan system

XY flexure scanner

圖9. (a)表示 Park Systems XE系統的背景曲率為零，(b)是傳統的原子力顯微鏡系統的管式掃描器的典型背景曲率, (c)展示了這些背景曲率的橫截面。
圖9展示了XE系統(a)和傳統原子力顯微鏡(b)掃描硅片時，未處理的成像圖。由于硅片屬于原子級光滑材料，因此圖像中的彎曲大多數是掃描器所引起的。圖9(c)展示了圖9中(a)(b)圖像的橫截面。由于管式掃描器本身帶有背景曲率，因此當X軸的位置移動15 μm時，平面外移動*大可達80 nm。而在相同的掃描范圍內，XE掃描系統的平面外移動則不超過1 nm。XE掃描系統的另一大優勢是Z軸伺服回應。圖10是XE掃描系統在無接觸模式下拍下的一個多孔聚合物球體（二乙烯苯）的圖像，其直徑大約為5 μm。由于XE掃描系統的Z軸伺服回應極其精準，探針可以**地沿著聚合物球體上的大曲率以及小孔平面結構移動，而不會壓碎或粘連在其表面上。圖11是Z軸伺服回應在平坦背景上高性能的表現。

True Non-Contact?模式可延長針尖使用壽命，改善樣品保存及精度 

在True Non-Contact?模式中，探針**與樣品的距離在相互原子力的控制下，被成功地控制在幾納米之間。探針**振動幅度下，大大減少了探針與樣品的接觸，從而完好地保護了探針和樣品。

True Non-Contact? Mode

Tapping Imaging